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產(chǎn)品名稱:武漢半導(dǎo)體耐高溫腐蝕密封圈
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全氟醚橡膠(FFKM)是一種高性能彈性密封材料,可在-42℃至327℃溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作,短期耐受343℃高溫,同時耐受強(qiáng)酸、強(qiáng)堿,在等離子體環(huán)境中刻蝕率≤5%,顆粒產(chǎn)生率低,滿足半導(dǎo)體制造高潔凈度要求。
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